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茂图气体-高纯乙烯ch、甲基三氯硅烷mts、氧化亚氮no、氯化氢hcl、cl、三氯氢硅tcs、二氯二氢硅dcs、四氯化硅sicl、八氟丙烷cf、三氟甲烷chf、六氟乙烷cf、八氟环丁烷、六氟丁二烯、三氟化氮、氘气、硅烷、氨气、四氟化碳、三氯化硼、、乙硅烷、六氟化钨、溴化氢、一氟甲烷、二氟甲烷、羰基硫、四氟化硅、三氟、碳酰氟
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