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上海德竹芯源科技有限公司
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磁控溅射,电子束,热蒸发,刻蚀和沉积(PVD、PECVD、ICP-RIE),原子层沉积设备ALD,椭偏仪,膜厚仪,EVG键合机,基站测试仪,匀胶热板显影设备
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于半导体前道工艺、后道封装和器件测试设备的销售、系统集成、设备国产化和技术服务的高科技公司。在功率器件、光电器件、MEMS传感器、射频器件、量子器件等应用领域有丰富的经验。主要产品有： 键合机、匀胶热板显影设备、刻蚀沉积设备（RIE/PVD/CVD/ALD）、椭偏仪、XRF/XRD、扫描俄歇纳米探针、探针台、半导体参数分析仪、5G通信测试系统等。
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